如何确保单晶硅烘箱的密闭性

　　

　　空气循环系统采用双电机水平循环送风方式，风循环均匀。风源由循环送风电机（采用无触点开关）带动风轮（Φ230）经由电热器，而将热风送出，再经由风道至烘箱内室，再将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环，加热使用。确保室内温度均匀性。当因开关门动作引起温度值发生摆动，可介此送风循环系统迅速恢复操作状态温度值。

　　

　　单晶硅烘箱的概念

　　

　　主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。特点

　　

　　1，本系列主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。

　　

　　2，本系列烘箱采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠，数字直接显示出工作温度，直观易读。

　　

　　3，工作室温度可在室温至250℃之间任意恒温；能自动切断电源，保护设备和产品。

　　

　　4，单晶硅烘箱具有超温报警，恒温计时功能。

　　

　　箱体结构:设计，箱体采用数控机床加工成型，箱门采用双开式，操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板，外壳为A3板喷塑处理，更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启，方便维护和检修。箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保烘箱的密闭性。